中国科学院微电子研究所

电子管射频电源，匀胶机，固态射频电源，射频电源，自动匹配器

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  • 主     营： 电子管射频电源，匀胶机，固态射频电源，射频电源，自动匹配器
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中国科学院微电子研究所射频电源(rfgenerator)课题组(.)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56mhz)，1985年研制成功，获得“六五”攻关荣誉证书以及“fd-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。
从2010年开始受到极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项（国家02重大专项）资金支持，研发晶体管射频电源，2011年研发成功300w-3000w晶体管射频电源(13.56mhz)，获得第七届国际发明展览会银奖与第七届... [详细介绍]
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